一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器

• 作者: 吴承龙 杨建红 蔡雪原 谢宏伟 贾水英
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电容型湿度传感器 聚酰亚胺 CM0S工艺 响应时间
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 242-246
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.03.002

摘要

报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极.对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性,如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论.测试结果表明,在12%～92%的湿度范围内,电容一相对湿度曲线具有良好的线性度,灵敏度为0.9 pF/RH,响应时间为5.5 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建红	兰州大学微电研究所	44	143	6.0	9.0
2	蔡雪原	兰州大学微电研究所	6	24	1.0	4.0
3	谢宏伟	兰州大学微电研究所	5	3	1.0	1.0
4	贾水英	兰州大学微电研究所	3	3	1.0	1.0
5	吴承龙	兰州大学微电研究所	3	3	1.0	1.0