两片大面积玻璃同时反应溅射沉积Al2O3均匀性试验

• 作者: 周旭 池华敬 王双 章其初 郭帅 陈革
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 反应溅射 Al2O3 薄膜 气体进气系统 进气喷嘴 均匀性
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 35-39
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

本工作设计制作了一种新型的三段式反应气体进气系统.该进气系统由镀膜真空室内和室外两部分结构组成.真空室内的进气主管由三段进气分管组成,其上装有等间距的进气喷嘴.真空室外装有与各进气分管对应的流量调节针阀.调试反应溅射Al2O3均匀性的方法如下.首先粗调流量调节针阀,改变各进气分管间的反应气体进气流量分布,然后更换不同横截面积的进气喷嘴,进一步调节反应气体进气流量沿靶长度方向分布.交替重复以上调试过程2～3次,即可获得沿靶长度方向上反应溅射沉积均匀、透明的A12O3薄膜.本工作在高1650 mm,宽2440 mm的靶前后两块大面积玻璃上,试验沉积了Al2O3/Ag/Al2O3低辐射薄膜.结果表明沉积的低辐射膜在靶前后两块大面积玻璃上均匀性好,可见光吸收比相对标准偏差小于4％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	池华敬	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	14	44	5.0	6.0
2	郭帅	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	14	2.0	3.0
3	陈革	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	18	123	5.0	11.0
4	章其初	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	16	121	5.0	10.0
5	周旭	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	33	3.0	5.0
6	王双	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	13	44	5.0	6.0