两位置球面面形检测方法研究

• 作者: 刘勇 彭建华 汪凯巍 沈亦兵
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 两位置球面面形检测 三位置绝对检测 准确度 重复性
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 1361-1365
• 分类号: O436.1
• 字数: 3199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20114009.1361

摘要

三位置球面面形绝对检测方法在一定的条件下可以简化为两位置球面面形检测方法.本文在研究三位置绝对检测原理的基础上,提出了基于菲索干涉系统新的两位置球面面形检测方法.该方法的简化条件分为参考面面形误差偶对称或被检面面形误差偶对称两种不同的情况.实验结果表明,两位置检测方法可以有效实现PVr值λ/30的高准确度检测,且检测结果PVr值重复性在±λ/300范围内,RMS值重复性在±λ/4 000范围内.采用两位置检测方法得到的面形误差分布结果与三位置绝对检测方法非常接近,PVr值相差小于λ/300,RMS值相差小于λ/2 500.因此在一定条件下,两位置检测方法可以有效简化实验装置和检测步骤,且不失三位置绝对检测方法的准确度和重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	65	1762	22.0	41.0
2	沈亦兵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	40	431	10.0	19.0
3	汪凯巍	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	12	74	5.0	8.0
4	彭建华	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	13	2.0	3.0