镁基表面微弧氧化/类金刚石膜的性能表征

• 作者: 杨巍 柯培玲 汪爱英 蒋百灵
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 MgO 多孔结构 性能
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 页码范围: 1535-1540
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2011.00369

摘要

利用MgO多孔膜结构取代传统制备DLC膜所需的金属过渡层(如Ti),采用离子束复合磁控溅射技术制备出了DLC/MAO/AZ80膜基系统,并通过与MAO/AZ80,DLC/Ti/MAO/AZ80及DLC/Ti/AZ80对比,系统研究了此类膜基系统的表面微观形貌、租糙度、纳米压痕行为、摩擦学特性及电化学性能.结果表明:MgO多孔膜表面沉积DLC膜使其粗糙度减小,硬度增加,而弹性模量与MgO多孔膜相差较小；借助表层微孔特征及DLC膜的润滑特性,使得DLC/MAO/AZ80膜基系统的平均摩擦系数、磨痕宽度与传统的DLC/Ti/AZ80膜基系统相当,并进一步制备出了具有最小平均摩擦系数和磨痕宽度的DLC /Ti/MAO/AZ80膜基系统；由于MgO多孔膜结构的极化阻力使得MAO/AZ80,DLC/MAO/AZ80和DLC/Ti/MAO/AZ80膜基系统的耐蚀性均明显优于DLC/Ti/AZ80.