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摘要:
基于半经典理论,分析了中性钠原子在激光驻波场中的受力特征,以此为基础分别对不同纵向运动速度和横向运动速度条件下中性钠原子的运动轨迹进行了仿真运算,得到了不同速度条件下中性钠原子的运动轨迹特征,基于累计算法进一步对不同速度条件下中性钠原子的沉积特性进行了仿真,当钠原子的纵向运动速度符合最可及速度(740 m/s)时,纳米沉积条纹的半高宽为2.78 nm,条纹对比度为38.5∶1,当纵向运动速度偏离最可及速度(350 m/s)时,纳米沉积条纹的半高宽为29.1 nm,其对比度下降为15∶1.而当中性钠原子的横向运动速度为0.12 m/s(对应原子束发散角为0.15 mrad)时,纳米沉积条纹的半高宽为4.2 nm,条纹对比度为20∶1,当中性钠原子的横向运动速度为1.2 m/s(对应原子束发散角为1.5 mrad)时,纳米条纹呈现多峰结构,条纹质量恶化.
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激光驻波场中钠原子沉积图样的理论研究
原子沉积
半经典模型
激光驻波场
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 中性钠原子在激光驻波场中的运动特性研究
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 原子光刻 激光驻波场 条纹半高宽 条纹对比度
年,卷(期) 2011,(3) 所属期刊栏目 原子和分子物理学
研究方向 页码范围 183-189
页数 分类号 O431.2
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 熊显名 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 99 367 10.0 14.0
2 张文涛 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 105 506 10.0 18.0
3 朱保华 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 25 199 7.0 13.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
原子光刻
激光驻波场
条纹半高宽
条纹对比度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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