碳纳米管微电极的直流介质阻挡放电特性

• 作者: 侯中宇 回兵 徐东 王雨化
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管(CNT) 电泳碳纳米管 介质阻挡放电 微机电系统(MEMS) 气敏传感器
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 21-25,36
• 分类号: TB383
• 字数: 3906字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.01.006

摘要

研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构,使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极,在电极上电泳多壁碳纳米管,采用真空磁控溅射沉积二氧化硅介质层.在大气压下测试了所制备的DBD微结构样品的直流放电基本特性.实验结果表明,在几伏特的直流加载电压下即可检测到纳安量级的放电电流,并且放电电流对人体呼吸和环境气体变化有明显响应.放电起始电压小于10 V并显现出明显的抑制电流自由增长的DBD放电特征,但电流下降持续时间达102～103S量级,大于常规常压DBD时间,显示出碳纳米管尖端的特异效应.