MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展

• 作者: 杜晓松 王力 胡佳 蒋亚东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气相色谱 分离柱 微电子机械系统(MEMS) 气体传感器 保留时间
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 639-647
• 分类号: TN703
• 字数: 6985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.10.005

摘要

气相色谱分离柱是色谱系统的重要组件之一,采用MEMS技术制作的微型气相色谱分离柱与传统分离柱相比,因其具有较小的平面二维结构和快速分离混合物的能力而备受青睐.对MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展进行了综述,将硅基底材料制作的分离柱结构分为螺旋型、直线型、蛇型和阵列型,重点从组分分离时间、分辨率和理论热塔板数等方面对微型色谱分离柱的各种结构进行了综合分析和比较,并介绍了新兴工艺制作的镍基底、聚合物基底和PECVD薄膜基底的微型气相色谱分离柱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	61	434	12.0	16.0
2	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
3	胡佳	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	10	44	4.0	6.0
4	王力	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	18	38	4.0	5.0