射频功率晶体管内匹配技术中键合线的建模仿真与参数提取

• 作者: 丁春宝 周永强 夏洋 张万荣 王立新 谢红云
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 射频功率晶体管 内匹配 键合线 建模 参数提取
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 363-366
• 分类号: TN385
• 字数: 2248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.04.003

摘要

金属键合线互连是射频大功率晶体管内匹配技术中的关键手段.键合线的直径、长度、拱高和并列键合线间距等物　理参量,均对器件性能有很大影响.采用三维电磁仿真软件EMDS和射频电路设计软件ADS对金属键合线互连进行了建模　仿真和射频等效参数提取,分析了等效参数与键合线各物理参量之间的关系,针对具体的关系特点及内匹配技术中键合线的　选取,给出了相应的优化设计措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏洋	中国科学院微电子研究所	67	325	9.0	14.0
2	王立新	中国科学院微电子研究所	97	1160	17.0	30.0
3	张万荣	北京工业大学电子信息与控制工程学院	105	390	8.0	12.0
4	谢红云	北京工业大学电子信息与控制工程学院	66	215	8.0	9.0
5	丁春宝	北京工业大学电子信息与控制工程学院	21	83	6.0	7.0
6	周永强	中国科学院微电子研究所	18	177	7.0	13.0