调制周期对Cr/CrN纳米多层膜的结构与性能的影响

• 作者: 底月兰 张平 牛庆银 蔡志海
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 调制周期 Cr/CrN纳米多层膜 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 29-32
• 分类号: TB302.3
• 语种: 中文

摘要

采用多弧离子镀技术在65Mn钢表面制备了不同调制周期的Cr/CrN纳米多层膜.采用俄歇能谱仪(AES)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米硬度仪、轮廓仪和划痕仪,分析了不同调制周期Cr/CrN纳米多层膜的成分分布、微观结构、力学性能、残余应力和结合强度.结果表明,Cr/CrN纳米多层膜的表面平整致密,截面层状调制结构清晰,其调制结构为Cr层-过渡层-CrN层的"三明治"结构,调制比约为1∶ 1.多层膜由CrN、Cr2N和Cr相组成,在CrN(200)方向上出现择优取向.当调制周期为80 nm时,多层膜的硬度值相对较高.随调制周期的增大,Cr/CrN多层膜的残余应力值减小,结合强度值先增大后减小.当调制周期为120 nm时,涂层的划痕临界载荷值相对较高,为69 N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室	83	816	13.0	24.0
2	蔡志海	装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室	46	275	10.0	12.0
3	底月兰	装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室	15	80	5.0	8.0
4	牛庆银	装甲兵工程学院训练部	10	90	4.0	9.0