宽范围可调MEMS集成滤波器的设计与制作

• 作者: 李倩 杨志 杨拥军 胡小东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 滤波器 微机械加工 宽可调比 集成
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 108-111,127
• 分类号: TH703|TN713.5
• 字数: 1796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.02.008

摘要

基于MEMS平面螺旋电感和MEMS可调平行板电容设计并制作了一种宽可调范围的集成可调带通滤波器.理论分析并计算了可调滤波器电感和可调电容的取值范围,利用HFSS设计得到各元件结构参数,并使用Ansoft Designer 分析软件对可调滤波器电路进行了模拟仿真.设计得到的可调滤波器中心频率调节范围为400～700 MHz,可调率达75%,实现了宽范围可调,3 dB相对带宽范围为5%～10%,插入损耗小于5 dB,芯片尺寸为20 mm×6 mm×0.4 mm.给出了一套基于MEMS平面工艺的MEMS集成可调滤波器的制作流程,实现了MEMS集成可调滤波器的工艺制作及测试.测试结果表明,获得的可调滤波器实现了通带频率宽范围可调.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	34	3.0	5.0
2	李倩	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	37	3.0	6.0
3	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
4	胡小东	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	27	2.0	5.0