钛阳极氧化膜的半导体特性及腐蚀行为

• 作者: 余相仁 张琳 李淑英 范洪强 钱备
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化膜 钛材 半导体特性 腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 科技关注
• 页码范围: 8-11
• 分类号: TG174.451
• 语种: 中文

摘要

目前，国内外还鲜见有关金属钛阳极氧化膜半导体特性与腐蚀行为的报道。采用极化曲线、交流阻抗和Mott-Schottky曲线研究了TA2硫酸和磷酸阳极氧化膜的腐蚀性能和半导体特性。结果表明：在1％NaCl溶液中，钛阳极氧化膜的自腐蚀电位升高，自腐蚀电流密度降低，耐蚀性能提高；氧化电压对氧化膜的厚度有较大影响；磷酸阳极氧化膜在低频区阻抗更大；2种阳极氧化膜都是n型半导体，磷酸阳极氧化膜的载流子密度较小，平带电位更负。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李淑英	大连理工大学化工与环境生命学部	61	535	12.0	19.0
2	张琳	大连理工大学化工与环境生命学部	35	363	10.0	18.0
3	余相仁	大连理工大学化工与环境生命学部	4	26	4.0	4.0
4	范洪强	大连理工大学化工与环境生命学部	11	44	4.0	6.0
5	钱备	大连理工大学化工与环境生命学部	5	30	4.0	5.0