磁控溅射制备TiWN/MOS2薄膜及其微观结构和摩擦学性能研究

• 作者: 廖东候 晋跃 李长生 莫超超
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiWN/MoS2涂层 磁控溅射 微观结构 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 48-51,56
• 分类号: TB43
• 字数: 3059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.03.014

摘要

采用磁控溅射方法在40Gr不锈钢基体上,沉积了TiN及TiWN单层薄膜、TiN/MoS2及TiWN/MoS2双层薄膜,对比分析了薄膜的成分、相结构、微观形貌及摩擦学性能.结果表明:根据W含量的不同,TiWN薄膜中,Ti0.67W0.33N膜层具有较高的硬度和弹性模量;TiWN/MoS2薄膜中,TiWN层主要含有TiN和WN相,MoS2层含有MoS2和M0O3相;与TiN/MoS2薄膜比较,TiWN/M0S2薄膜具有更优异的减摩、耐磨性能,可减小材料的磨损,延长其使用寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长生	江苏大学材料科学与工程学院	127	626	12.0	18.0
2	晋跃	江苏大学材料科学与工程学院	7	32	3.0	5.0
3	莫超超	江苏大学材料科学与工程学院	3	18	3.0	3.0
4	廖东候	江苏大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0