基于QPD的单透镜微角度测量系统及其关键技术研究

• 作者: 居冰峰 廉孟冬 金伟锋
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 工学
• 关键词: 精密加工 微角度测量 4象限光电二极管(QPD) 单透镜
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 自控·检测
• 页码范围: 65-68
• 分类号: TH73
• 字数: 2180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2011.03.016

摘要

介绍了一种基于QPD的单透镜微角度测量系统.通过对其关键技术如采取的光学原理、光学器件光电探测器的选择和离焦设置,小尺寸的可行性分析计算等,最后得出设计出一种结构紧凑,体积小,携带方便,灵敏度高,可测量微小角度的测量系统的可行性.同时通过实验得出测量系统大致的测量范围和测量精度.图9参11

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	居冰峰	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	13	31	3.0	5.0
2	金伟锋	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	2	12	2.0	2.0
3	廉孟冬	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	2	12	2.0	2.0