真空变温薄膜电阻测试仪器的设计与应用

• 作者: 何帆 刘依真 朱亚彬 王保军 陈志杰 魏敏建
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空 变温 薄膜电阻
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与技巧
• 页码范围: 28-30,33
• 分类号: O484.42
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2011.01.008

摘要

设计了自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试.该仪器适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度-电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱亚彬		1	3	1.0	1.0
2	魏敏建		1	3	1.0	1.0
3	何帆		1	3	1.0	1.0
4	刘依真		1	3	1.0	1.0
5	王保军		1	3	1.0	1.0
6	陈志杰		1	3	1.0	1.0