用于高灵敏微磁传感器的LMO膜制备与分析

• 作者: 王三胜 程远超 郭恺
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁传感器 巨磁阻抗 溶胶凝胶 LaMnOx薄膜 纵向磁场后退火 各向异性
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 103-107,127
• 分类号: TP212.13
• 字数: 2913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.02.007

摘要

采用溶胶凝胶法制备了LaMnOx(LMO)薄膜,系统研究了不同烧结温度、纵向直流磁场后退火和生长膜层数对LMO薄膜的巨磁阻抗效应的影响.结果表明,烧结温度、膜的层数以及纵向磁场后退火处理均有效提高了LMO的巨磁阻抗比,其中纵向直流磁场后退火处理提高薄膜阻抗比效果最显著,经过10 Oe、400℃恒温1 h磁场后退火处理后,在频率5 MHz、100 Oe外磁场下其磁阻抗比达15.8%,相比未后处理样品磁阻抗比提高了一倍,其对应的磁场灵敏度为0.16%/Oe.同时,实验发现磁场后退火不仅影响薄膜的巨磁阻抗比,也会改变阻抗比极大值瑚对应的激励频率,这一现象目前仍在探究中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王三胜	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	26	114	5.0	9.0
5	郭恺	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	1	1.0	1.0
9	程远超	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	1	1.0	1.0