光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价

• 作者: 朱龙源 李向阳 汤亦聃 王韡 贾嘉 钱大憨 陈昱
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 曲面延伸电极 光导型碲镉汞红外探测器 电阻表征 扫描电子显微镜 微观形貌
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 328-331,344
• 分类号: TN215
• 字数: 2338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.06.004

摘要

制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化.通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,发现在延伸台阶的侧面有孔洞出现.通过改进镀膜工艺,延伸台阶侧面的金属薄膜致密无孔洞.这表明宏观的电阻表征对微观缺陷不敏感,对电极可靠性的表征要结合微观形貌表征进行;同时适当的薄膜制备条件可以使大台阶侧面获得致密的金属薄膜,从而获得良好的台阶覆盖性.