Sb2O3/CeO2共掺杂ZnO薄膜的研究

• 作者: 张韬 徐新 徐芸芸 李争鸣
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 ZnO薄膜 掺杂 结构 紫外吸收
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 62-64
• 分类号: TG174.444|O484.4
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.018

摘要

采用射频磁控溅射技术制备Sb2O3/CeO2共掺杂ZnO薄膜,研究了薄膜的结构及紫外光吸收性能.结果表明:Sb2O3和CeO2共同掺入ZnO薄膜后,ZnO(002)晶面的XRD衍射峰强度明显下降,ZnO薄膜呈混晶方式生长；共掺杂ZnO薄膜的紫外吸收性能明显优于纯ZnO薄膜,Sb对掺杂ZnO薄膜的结构和紫外吸收性能的影响起主导作用,Ce起进一步的强化作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐新		20	55	4.0	6.0
2	李争鸣		10	49	2.0	7.0
3	张韬		23	62	3.0	6.0
4	徐芸芸		17	33	3.0	4.0