利用白光扫描干涉测量表面微观形貌

• 作者: 刘晨 师丽丽 王军 陈磊 韩志刚
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 白光干涉 微观形貌 测量
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 71-75
• 分类号: O439
• 字数: 2253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.014

摘要

由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值,不能进行绝对测量,本文提出了白光显微干涉测量方法,研制了测量仪器,并对CCD像素格值和PZT进行了标定.该仪器以白光干涉理论为基础,利用空间频域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌.对被测工件表面进行了测试,试验结果表明:此系统可用于平面,台阶、薄膜、球面等三维微观形貌的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	刘晨	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	30	167	8.0	12.0
3	韩志刚	南京理工大学电子工程与光电技术学院	17	79	5.0	8.0
4	王军	南京理工大学电子工程与光电技术学院	66	259	8.0	9.0
5	师丽丽	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	21	2.0	2.0