锑化铟的腐蚀特性研究

• 作者: 何英杰 王海珍
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: InSb 晶片 湿法腐蚀 制作精度
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 323-327
• 分类号: TN213
• 字数: 2016字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.06.003

摘要

研究了不同的腐蚀液对InSb表面及台面腐蚀特性,利用金相显微镜和轮廓仪对样品表面形貌和制作精度进行了表征.通过大量的实验对比,得到一种对InSb有很好腐蚀特性的腐蚀液,腐蚀速度易于控制,晶片腐蚀后的表面比较光滑、均匀;对台面的钻蚀小,提高了台面的制作精度及器件的性能,解决了现有工艺中的难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海珍		11	33	4.0	4.0
2	何英杰		8	21	3.0	4.0