AZO薄膜绒面制备方法研究进展

• 作者: 倪争技 周俊 庄松林 张大伟 黄元申
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 绒面 刻蚀 太阳电池
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-3
• 分类号: O484.1
• 字数: 5353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2011.02.001

摘要

综述了AZO透明导电薄膜绒面的间接制备方法,包括湿法腐蚀和干法刻蚀两种.对各种绒面制备方法进行了比较和总结,提出了掺铝氧化锌薄膜绒面制备工艺中需要解决的关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	上海理工大学光学与电子信息工程学院	117	391	11.0	15.0
2	庄松林	上海理工大学光学与电子信息工程学院	199	1335	20.0	29.0
3	黄元申	上海理工大学光学与电子信息工程学院	56	348	11.0	16.0
4	倪争技	上海理工大学光学与电子信息工程学院	43	341	12.0	17.0
5	周俊	上海理工大学光学与电子信息工程学院	1	0	0.0	0.0