小批次元器件SPC过程中嵌套回归方法研究

• 作者: 刘建
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 嵌套 回归 SPC 质量控制 电子元器件
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 绿色质量观察
• 页码范围: 48-50
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2011.10.017

摘要

元器件企业都存在订货量小、批次多的情况,在保证订货任务完成的情况下,如何能向用户提交这些元器件生产过程的质量波动数据,是需要解决的问题。该文主要基于嵌套回归的数学统计原理,以混合集成电路印刷工艺为例,对膜厚参数进行嵌套回归的统一化处理,结果表明应用嵌套回归数学方法处理后生成的控制图能比应用传统控制图更能真实地反映工艺受控情况。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建		4	12	3.0	3.0