晶体生长过程建模及解耦控制

• 作者: 姜雷 张婷曼 王庆
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 单晶炉 双入双出系统 解耦控制 前馈补偿
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 1353-1357
• 分类号: O784
• 字数: 1682字
• 语种: 中文

摘要

晶体生长过程中其直径的控制是通过调节生长速度和热场温度而实现的.控制系统是一个双入双出系统,输入输出之间存在耦合关系.本文采用前馈补偿解耦的方法,实现了单晶炉生长控制中的解耦控制,并通过仿真及实验证明了方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆		13	77	6.0	8.0
5	张婷曼	延安大学西安创新学院	17	44	3.0	5.0
6	姜雷		5	25	4.0	5.0