预退火气氛对BDT铁电薄膜性能的影响

• 作者: 成传品 邓永和
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 BDT薄膜 预退火 铁电性 有机
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 37-39,57
• 分类号: O484.4
• 字数: 2764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.01.007

摘要

介绍了溶胶一凝胶法制备掺Dy元素的Bi4Ti3O12(Bi34Dy0.6Ti3O12,BDT)薄膜的工艺过程,并研究了不同预退火气氛对沉积在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的BDT薄膜铁电性能的影响.空气中的预退火,薄膜中的H,C等有机成分分解不彻底,有部分残留在薄膜中;而O2气氛下的预退火,由于O2充足,薄膜中的有机成分可以完全分解.退火过程中BDT薄膜晶粒的生长和取向可以受到残留的有机成分的影响,进而对BDT薄膜的铁电性有较为显著的影响.在外加400 kV/cm的电场时,空气中预退火的BDT薄膜的剩余极化(2Pr)值和矫顽场(Ec)分别为26.37 μC/cm2和114.2 kV/cm,而O2气氛下预退火的BDT薄膜的2 Pr和Ec分别为36.28μC/cm2和113.6 kV/cm,表明O2气氛下预退火可显著提高BDT薄膜的剩余极化值,改善其铁电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓永和	湖南工程学院理学院	36	138	5.0	10.0
2	成传品	湖南工程学院理学院	4	10	1.0	3.0