真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响

• 作者: 冯红亮 卢景霄 张增院 郜小勇 马姣民
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ag2O薄膜 热退火温度 微结构 光学性质
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 442-447
• 分类号: O484.41
• 语种: 中文

摘要

利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1 h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O 薄膜微结构和光学性质的影响.研究结果表明,TA=300℃时Ag2O薄膜中开始出现Ag纳米颗粒,且随着TA的升高薄膜中Ag的含量明显增加.特别是当TA=475℃时Ag2O相完全转化为AG.随着TA的升高,薄膜的表面形貌发生了由致密到疏松的结构演变.薄膜微结构的变化显示在真空热退火过程中伴随着Ag2O相热分解为Ag和O原子及O原子在体内的扩散和从表面的逃逸过程.薄膜的透射率、反射率和吸收率随TA的变化归结于热退火过程中Ag2O的热分解和薄膜结构的演变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	52	301	10.0	14.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
3	冯红亮	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	4	7	2.0	2.0
4	马姣民	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	6	8	2.0	2.0
5	张增院	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	4	6	2.0	2.0