自制三氯氢硅合成炉加热装置

• 作者: 李明生
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 合成炉 电阻丝加热
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 材料与设备
• 页码范围: 40-41
• 分类号: TQ114.15
• 字数: 1841字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2011.10.012

摘要

介绍了自行设计、制造的三氯氢硅合成炉加热装置的结构及使用效果.