AZO热压靶材的制备及性能表征研究

• 作者: 卢世刚 孙静 段华英 王星明 白雪 黄松涛
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: AZO 靶材 热压 溅射 薄膜太阳能
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 398-403
• 分类号: TB321
• 字数: 4891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2011.03.015

摘要

以化学组成ZnO:Al<,2>O<,3>=98:2%的混合粉体为原料,采用热压烧结制备AZO靶材.研究了热压工艺条件对靶材致密化的影响.结果表明,热压温度与压力上升,靶材致密度增大;在AZO靶材的致密化过程中存在"反致密化"现象,这是由于连通气孔的合并与生长及闭合气孔率的升高引起的.在实验条件范围内,在热压工艺条件压力18 MPa、温度1150℃、保温保压时间90 min下.制备了AZO靶材.通过SEM观察热压靶材的断面形貌,阿基米德法测量靶材密度,水银压汞仪测量靶材的平均孔径及孔径分布,XRD测定靶材相结构,四探针测定电阻率等方法对AZO靶材的性能进行了分析表征,结果表明:结构为六方纤锌矿,密度为5.39 g·cm-<'-3>,靶材连通气孔率为0.05%,闭合气孔率为3.4%,电阻率为5.3×10<,-4>Ω·cm.采用射频溅射制备AZO薄膜,对靶材的使用性能及AZO薄膜性能进行了分析,表明靶材使用寿命大于150 W·h,薄膜在可见波段的平均透过率达到85.5%,电阻率达到3.1 x 10<,4>Ω·cm,满足薄膜太阳能对透明导电薄膜性能的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄松涛		47	456	14.0	18.0
2	卢世刚		90	783	16.0	22.0
3	孙静		8	31	3.0	5.0
4	白雪		13	34	3.0	5.0
5	王星明		24	157	9.0	12.0
6	段华英		11	83	5.0	9.0