面向三维实体建模的MEMS设计方法

• 作者: 常洪龙 滕云 苑伟政
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 三维实体建模 设计方法
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 350-353
• 分类号: TP391.9
• 字数: 2080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.03.008

摘要

根据"所见即所得"的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型,再通过自动版图转换得到相应的工艺版图.此设计方法可以提高设计效率,并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政	西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室	70	351	10.0	14.0
2	常洪龙	西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室	25	112	6.0	10.0
3	滕云	西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室	1	8	1.0	1.0