在入射平面内小角度入射一维光栅零级衍射场的简便计算方法

• 作者: 陈树强
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅 RCWA 衍射 对称性
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1878-1882
• 分类号: O438.2
• 字数: 4506字
• 语种: 中文

摘要

耦合波分析法(RCWA)方法是目前研究光栅衍射最普遍的方法.垂直入射到光栅表面的光使衍射光的正负N级衍射波处于对称状态,使得在RCWA法中原先需要计算2N+1级衍射的2N+1阶矩阵问题降低到计算N+1级衍射的N+1阶矩阵问题.本文将这种对称结构的简化方法推广到非垂直入射、光栅条纹在入射平面内的情况,使得在这种耦合情况下的2(2N+1)阶矩阵问题简化为2(N+1)阶矩阵问题.同时针对小角度入射的情况提出了进一步简化计算方法将其简化为(N+1)阶矩阵问题.实验表明在较大的范围内,其误差均可接受,在工程应用具有重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈树强	电子科技大学物理电子学院	6	8	2.0	2.0