掺入SiO2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响

• 作者: 周志刚 孙迎伟 胡木林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 掺SiO2的Zn 厚膜 气敏传感器
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 799-802
• 分类号: TP212
• 字数: 2141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.06.004

摘要

利用丝网印刷技术，制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器，测试对甲醇和乙醇的气敏性能，并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺人有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃时，SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度，而在工作温度为200～350℃时，SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外，SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后，讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡木林	华中科技大学纳米材料与智能传感器实验室	35	581	13.0	23.0
2	周志刚	华中科技大学纳米材料与智能传感器实验室	17	124	6.0	11.0
3	孙迎伟	华中科技大学纳米材料与智能传感器实验室	1	16	1.0	1.0