基于视觉的微夹钳位移测试技术研究

• 作者: 张成 张然 王文静 褚金奎
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 微夹钳 机器视觉 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 44-46
• 分类号: TP206
• 字数: 2274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.02.015

摘要

微夹钳输出位移是它的一个重要特性,微夹钳整体尺寸比较小,不能用常规方法测量输出位移.针对微夹钳的特点,提出一种微夹钳位移测试方法,采用非接触式测量,设计了一种基于视觉的微位移测试装置,并开发了配套的测量软件.测试软件通过LabVIEW软件平台实现,能够实现图像标定、测量和图像标注等功能.给出了详细的图像标定方法,通过台式测微尺实现.最后对微夹钳进行位移测试实验,验证了测量装置的可用性,并总结出微夹钳位移随电压变化的规律.位移测量装置的精度为±1 μm,且具有一定的通用性,可用于其他MEMS器件的位移测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	119	1260	20.0	30.0
2	张成	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	10	26	4.0	5.0
3	张然	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	27	82	5.0	8.0
4	王文静	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	5	1.0	1.0