一种SRAM成品率专用测试结构的设计方法

• 作者: 史峥 潘伟伟 熊建
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 静态随机存储器 成品率 测试结构
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 电工技术
• 页码范围: 381-384
• 分类号: TN43
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2011.03.030

摘要

SRAM的成品率是半导体制造量产能否成功的关键.针对通用的工艺测试结构无法满足SRAM特殊要求的问题,阐述了一种SRAM成品率专用测试结构的设计方法.在SRAM原始版图的基础上改变设计以构造测试图形,并按阵列形式排布,有针对性地评估工艺环境造成的缺陷.研究结果表明该方法还原了产品电路的设计环境,能有效捕获违背SRAM特殊设计规则所造成的开路或短路缺陷,从而有助于快速修正设计误差,提升成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史峥	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	51	176	7.0	11.0
2	潘伟伟	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	2	0	0.0	0.0
3	熊建	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	1	0	0.0	0.0