KrF准分子激光刻蚀PMMA研究

• 作者: 张运海 满宝元 马美娟
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 光与物质相互作用 激光刻蚀 高分子聚合物 有机玻璃
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与电子技术应用
• 页码范围: 708-711
• 分类号: TN249
• 字数: 3143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.035

摘要

为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的内在机理,将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面,改变激光能量和脉冲数目,在大气背景下进行实验,照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜( SEM)、3维形貌分析仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段进行分析.SEM测试表明,在刻蚀区域出现孔状结构,说明刻蚀过程中有气体成分产生.XPS测试表明,激光照射后C1s峰的强度减弱而O1s峰增强,据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉且空气中的O2参与了反应.另外还研究了激光能量和脉冲数目对刻蚀率和表面粗糙度的影响.结果表明,随着激光能量和脉冲数目增加,刻蚀率和粗糙度并不是一直呈现递增的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	满宝元	山东师范大学物理与电子科学学院	34	269	8.0	15.0
2	张运海	菏泽学院物理系	7	21	3.0	4.0
3	马美娟	菏泽学院物理系	10	10	2.0	3.0