六面顶压机合成腔中心温度轨迹控制方法研究

• 作者: 任红伟 伊鹏 刘衍聪 李继涛 郭欣
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 六面顶压机 温度控制 升温时间效应 温度静态关系
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 27-32
• 分类号: TQ164
• 字数: 3371字
• 语种: 中文

摘要

金刚石合成过程中,稳定的最终压力和温度区域、初始升温升压的时间及方式都是合成工艺研究的重点,各边界温度条件对合成腔内温度都有重要影响.利用有限元方法建立了六面顶压机合成金刚石环境的热电耦合数值模型,对合成腔中心温度控制方法进行了研究.研究表明,合成腔中心升温时间效应对升温特征的描述是有效的,基于升温时间效应曲线和温度静态关系可以对腔体中心温度进行预测和控制.控制的关键是升温时间效应曲线的选取、变载点的确定和后继功率的施加方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭欣		1	2	1.0	1.0