PMMA成膜特性的研究

• 作者: 夏安华 李广强
• 来源期刊: 安徽化工
• 学科: 工学
• 关键词: 聚甲基丙烯酸甲酯 表面粗糙度 膜厚 气敏材料
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 49-51
• 分类号: TQ325.7
• 字数: 1389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-553X.2011.04.018

摘要

研究了PMMA膜的成膜方法、成膜特性以及作为气敏材料的应用.实验结果表明,PMMA的表面粗糙度与转速密切相关,转速越大,表面粗糙度越小.PMMA的膜厚符合液体动力学方程,旋涂速度越大,膜厚越薄.当旋涂速度为6000rpm时,可得到厚度为42nm的PMMA膜,完全符合气敏材料对膜厚的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏安华		2	8	2.0	2.0
2	李广强		2	8	2.0	2.0