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采用磁控溅射法在细菌纤维素膜上制备高性能的铟锡氧化物薄膜
采用磁控溅射法在细菌纤维素膜上制备高性能的铟锡氧化物薄膜
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摘要：
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靶材密度对射频磁控溅射法制备ITO薄膜性能的影响
氧化锡铟(ITO)
靶材密度
薄膜
射频磁控溅射
磁控溅射法制备ITO薄膜的结构及光电性能
ITO薄膜
直流磁控溅射
透光率
微观结构
光电性能
FTO上溅射ITO薄膜及光电性能
脉冲磁控溅射
透明导电薄膜
氧化铟锡薄膜
射频磁控溅射低温制备ITO薄膜
ITO薄膜
射频磁控溅射
电阻率
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文献信息
| 篇名 | 采用磁控溅射法在细菌纤维素膜上制备高性能的铟锡氧化物薄膜 | ||
| 来源期刊 | 中国化学工程学报（英文版） | 学科 | 化学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2011,（2） | 所属期刊栏目 | 第二届国际绿色化工产品和过程工程研讨会 |
| 研究方向 | 页码范围 | 179-184 | |
| 页数 | 分类号 | O611.4 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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中国化学工程学报(英文版)
主办单位：
中国化工学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9541
CN：
11-3270/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京东城区青年湖南街13号
邮发代号：
80-448
创刊时间：
1982
语种：
eng
出版文献量（篇）
4237
总下载数（次）
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