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摘要:
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靶材密度对射频磁控溅射法制备ITO薄膜性能的影响
氧化锡铟(ITO)
靶材密度
薄膜
射频磁控溅射
直流磁控溅射氧化铟锡薄膜的低温等离子退火研究
氧化铟锡薄膜
磁控溅射
方块电阻
射频磁控溅射法制备硼薄膜
硼薄膜
射频磁控溅射
制备
形貌表征
成分分析
射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究
聚氟材料
射频磁控溅射
电子二次倍增效应
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 采用磁控溅射法在细菌纤维素膜上制备高性能的铟锡氧化物薄膜
来源期刊 中国化学工程学报(英文版) 学科 化学
关键词
年,卷(期) 2011,(2) 所属期刊栏目 第二届国际绿色化工产品和过程工程研讨会
研究方向 页码范围 179-184
页数 分类号 O611.4
字数 语种 英文
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期刊影响力
中国化学工程学报(英文版)
月刊
1004-9541
11-3270/TQ
大16开
北京东城区青年湖南街13号
80-448
1982
eng
出版文献量(篇)
4237
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1
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