ZnO薄膜气相法制备

• 作者: 伍媛婷 王秀峰 许雅琴 鲁俊雀
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 ZnO薄膜 气相法
• 年，卷（期）: 2011,（19）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 64-67
• 分类号: TB383
• 字数: 4580字
• 语种: 中文

摘要

ZnO薄膜具有压电、光电、压敏、气敏、发光等多种特性,应用十分广泛.介绍了ZnO薄膜气相法制备原理中的各类主要方法,包括脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延、金属有机化合物化学气相沉积、单源化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积等技术；分析了这些方法的优缺点；展望了ZnO薄膜今后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秀峰	陕西科技大学材料科学与工程学院	276	1311	17.0	22.0
2	伍媛婷	陕西科技大学材料科学与工程学院	39	262	10.0	14.0
3	许雅琴	陕西科技大学材料科学与工程学院	4	20	3.0	4.0
4	鲁俊雀	陕西科技大学材料科学与工程学院	4	20	3.0	4.0