等倾干涉法测量小孔径圆柱形腔特征长度

• 作者: 孙建平 张凯 张金涛 李晓苇 林鸿
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 等倾干涉 小孔径腔体 Fabry-Perot腔 精密测长 Boltzmann常数
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2330-2335
• 分类号: TB942
• 字数: 3377字
• 语种: 中文

摘要

激光等倾干涉法是一种准确度较高的测量Fabry-Perot腔形式圆柱腔长的方法.对于一些需要进行小孔径腔体长度测量的情况,采用等倾干涉法受到腔体孔径、激光发散角、入射角等各种条件的限制.基于激光等倾干涉原理,分析了腔体孔径、激光发散角和倾斜角,聚焦透镜等对等倾干涉测量的影响,并计算分析了图像采集感光芯片最小的感光范围.计算和实验验证结果表明:对于长度分别为65 mm、80 mm、130 mm和160 mm的圆柱共鸣腔,腔体光学孔径最小半径为2.13 mm;激光发散角不应小于0.8°；感光芯片的感光范围应大于5 mm；同时得到了激光倾斜角和发散角的对应关系.该分析为了用于定程圆柱声学共鸣法准确测量Boltzmann常数的需要,同时可以为小孔径Fabry-Perot腔测量提供一些参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓苇		136	473	10.0	13.0
2	张金涛		70	323	9.0	13.0
3	孙建平		53	248	9.0	13.0
4	张凯		16	18	3.0	3.0
6	林鸿		36	133	6.0	9.0