Nb/SnO2复合薄膜的制备、结构及光电性能

• 作者: 丁芃 刘发民 周传仓 曾乐贵 蔡鲁刚 钟文武
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 Nb/SnO2复合薄膜 结构表征 光电性能
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 779-784
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃基底上制备出Nb/SnO2复合透明导电薄膜,利用XRD,SEM,紫外一可见分光光度计,四探针电阻仪等测试方法对Nb/SnO2复合薄膜的结构和物性进行了研究.结果表明:当Nb含量小于0.99at%时,Nb/SnO2复合薄膜为较纯的四方金红石结构;复合薄膜中晶粒分布均匀,平均尺寸在5-7 nm.当nb含量小于0.99at%时,Nb/SnO2复合薄膜的电阻率先减小后增大,当Nb含量为0.37at%时,复合薄膜的电阻率降低到9.49×10-2Ω·cm.在400-700nm可见光范围内,当Nb含量小于0.99at%时,Nb/SnO2复合薄膜的透过率都在90%以上,其光学带隙在3.9-4.1 eV之间;当Nb含量达到1.23at%时,可见光透过率明显降低.