长方体三维工件的高度变化对等离子体离子注入动力学影响研究

• 作者: 巩春志 杨士勤 汪志健 王蓬 田修波
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入 数值模拟 三维PIC模型 等离子体鞘层
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 526-531
• 分类号: O539|O411.3|O46
• 字数: 2806字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.05.03

摘要

采用三维HC模型仿真研究了等离子体浸没离子注入过程中工件高度变化对鞘层扩展动力学和离子注入效果的影响.模拟结果表明,随着工件高度减小,中心水平截面内鞘层扩展速度明显下降,鞘层最终尺寸也明显减小.随着工件高度减小,工件上表面的注入剂量峰幅值明显增大,表面注入剂量均匀性则显著下降.随着工件高度减小,工件上表面的离子垂直入射面积和高能离子注入面积略有减小.这是由于工件高度减小造成鞘层曲率半径减小,弯曲的鞘层增大了离子聚焦现象将更多离子聚焦注入到工件边角附近位置.随着工件高度减小工件侧壁上的注入剂量峰幅值明显增大,而且工件棱线上的剂量数值也显著增大,且均匀性更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
2	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	杨士勤	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	93	787	14.0	22.0
4	汪志健	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	13	72	4.0	8.0
5	王蓬	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	6	32	4.0	5.0