光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备

• 作者: 丁万勇 张兴堂 戴树玺 杜祖亮 王广君 王洋
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 光盘 聚二甲基硅氧烷 氧化锌溶胶 纳米压印 表面图案化
• 年，卷（期）: 2011,（14）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1097-1102
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/972010-1120

摘要

模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表面图案化,经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴堂		68	606	14.0	20.0
2	杜祖亮		128	1108	17.0	27.0
3	戴树玺		28	213	8.0	14.0
4	王广君		10	47	4.0	6.0
5	王洋		11	30	3.0	5.0
6	丁万勇		2	8	1.0	2.0