三氯氢硅生产过程的优化

• 作者: 刘本旭 宋宝东
• 来源期刊: 中国氯碱
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 四氯化硅 多晶硅 尾气
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 氯产品
• 页码范围: 32-34
• 分类号: TQ264.1+1
• 字数: 3722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1785.2011.03.011

摘要

阐述了三氯氢硅主要工艺过程,并针对现有工艺存在的主要问题提出了综合解决方案

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘本旭	天津大学化工学院化学工程研究所	2	22	2.0	2.0
2	宋宝东	天津大学化工学院化学工程研究所	28	167	7.0	11.0