极小气体流量测量技术研究

• 作者: 冯焱 张涤新 成永军 李得天 郭美如
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 极小气体流量 固定流导法 分流法 漏率校准
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 435-439
• 分类号: TB77
• 字数: 4560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.04.10

摘要

介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9 m3/s量级的精密小孔,通过在10-1～10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8～ 10-10 Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%.利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-10～ 10-12 Pa· m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%.利用极小气体流量测量技术校准了小于10- Pa· m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度.与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	63	622	15.0	20.0
2	郭美如	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	28	208	8.0	12.0
3	冯焱	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	51	463	12.0	17.0
4	张涤新	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	62	468	12.0	17.0
5	成永军	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	39	271	9.0	13.0