开放式微波等离子体源的研究进展

• 作者: 张贵新 王仲 王强
• 来源期刊: 高电压技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大气压 开放式 空气微波等离子体源 APMPS-Ⅰ型 APMPS+JET型 APMPS-Ⅱ型 平行直线矩形波导
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 高电压新技术
• 页码范围: 793-800
• 分类号: TM201.4
• 字数: 3566字
• 语种: 中文

摘要

微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景.因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键.从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-Ⅰ型微波等离子体源的研究开始,逐步通过增加某些辅助设备或改进微波反应腔的尺寸和结构,历经APMPS+JET型、APMPS-Ⅱ型最终到平行直线矩形波导微波等离子体反应腔,实现了大气压开放式微波等离子体的激发.同时,对各种微波等离子体源的原理和相关特性进行了全面阐述,在此基础上对激发出的空气微波等离子体的形态进行了分析,说明了在一定的微波功率范围内较为稳定均匀的大气压开放式空气微波等离子体的实现是具有可行性的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	清华大学电机工程与应用电子技术系	138	1646	24.0	36.0
2	张贵新	清华大学电机工程与应用电子技术系	76	1111	16.0	30.0
3	王仲	清华大学电机工程与应用电子技术系	20	77	5.0	8.0