快速反射镜系统用光栅测微仪

• 作者: 刘长顺 徐新行 王兵 王恒坤 韩旭东
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 快速反射镜 光栅 微位移测量 增量式
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 115-119
• 分类号: TH212.14|TN253
• 字数: 2102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.10.019

摘要

为了精确控制FSM系统中平面反射镜的偏转角度,研制了专用型光栅测微仪对其进行位置测量,以实现系统的闭环控制.在明确了FSM系统对测微仪应用需求的基础上,根据其技术原理,对光栅测微仪的小型滑轨、标尺光栅图案、指示光栅图案、绝对零位编码、指示光栅移相以及接触探头分别进行了设计与选择.经精密加工、装配、调试后,所得光栅测微仪的测量范围为±2.5 mm,响应频率为1 000Hz,全行程测量精度优于2μm,测量分辨力优于0.06μm,并能提供绝对零点位置.工程应用实践证明:该光栅测微仪具有高精度、高分辨力、高可靠性的特点,满足FSM系统的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兵	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	106	880	14.0	24.0
2	韩旭东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	302	10.0	17.0
3	王恒坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	93	6.0	9.0
4	徐新行	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	250	9.0	15.0
5	刘长顺	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	82	6.0	7.0