Ni-Cr桥膜换能元的制备

• 作者: 任小明 卢斌 彭志明 王可暄 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 含能材料
• 学科: 化学
• 关键词: 物理化学 火工品 Ni-Cr薄膜 溅射 刻蚀 换能元 发火电压
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 584-587
• 分类号: TJ450.4|O64
• 字数: 1260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9941.2011.05.023

摘要

为了制作出阻值一致性好,发火电压低的金属桥膜换能元,对Ni-Cr薄膜换能元制作过程中的薄膜溅射、刻蚀等工艺进行了探索,并对制作的换能元参数进行了测试.结果显示随着溅射功率的减小,薄膜的沉积速率减小,成膜致密性提高；在一定范围内,刻蚀液中高氯酸所占的比例越大,刻蚀用时越短.制作的Ni-Cr薄膜换能元电阻的一致性较好,在47 μF电容情况下发火电压均值为6.67 V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解瑞珍	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	12	27	3.0	5.0
2	薛艳	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	10	27	3.0	5.0
3	任小明	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	8	24	3.0	4.0
4	卢斌	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	3	16	3.0	3.0
5	王可暄	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	10	52	5.0	7.0
6	彭志明	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	1	6	1.0	1.0