单晶硅电火花铣削维持电压测定及蚀除机理研究

• 作者: 刘志东 田宗军 邱明波 鲁清 黄因慧
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 电火花铣削 维持电压 放电能量 蚀除机理
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 273-278,289
• 分类号: TG662
• 字数: 3761字
• 语种: 中文

摘要

提出一种以电火花放电加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,建立了半导体放电加工电路模型,测量了半导体放电加工放电通道的维持电压,其值为18V.在此基础上,从放电能量和ANSYS仿真两个方面对单晶硅电火花铣削的蚀除机理进行了研究.通过单位能量蚀除量的计算,并与45钢比较,得出单位能量单晶硅的蚀除量是45钢的4倍,由此提出了单晶硅蚀除是热蚀除和热应力剥落综合作用的结果;通过仿真分别计算出单脉冲放电温度场和热应力场的蚀除量,其热应力剥落是热蚀除的4.6倍,与基于能量计算的分析结果基本吻合.最后实验验证了分析结果的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军	南京航空航天大学机电学院	220	2027	21.0	32.0
2	黄因慧	南京航空航天大学机电学院	219	2593	26.0	36.0
3	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
4	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0
5	鲁清	南京航空航天大学机电学院	3	12	2.0	3.0