缩短RF MEMS开关释放时间的上悬梁方法

• 作者: 凌源 杜亦佳 赵兴海 邓成 郑英彬 鲍景富
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS开关 释放时间 开关速度 上悬梁 空气压膜阻尼
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 714-719,732
• 分类号: TH703
• 字数: 2685字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.11.006

摘要

针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了在开关梁上设计一个上悬梁的方法,以增大开关梁所受压膜阻尼,抑制开关梁在平衡位置附近的振动,从而缩短RF MEMS开关的释放时间.给出了这种方法的相关理论、等效模型及仿真结果.通过ANSYS仿真雷声梁在设置上悬梁前后的动态特性:对于4μm高的梁,释放时间由设置上悬梁前的103 μs(0.5 μm厚),176 μs(0.8 μm厚)和232.5 μts(1.1μm厚)分别下降为53.3,89和123.4 μs;对于3 μm高0.5μm厚的梁,释放时间由43.3 μs下降为22 μs.仿真结果均表明:在标准大气压下,当雷声梁高度为上悬梁高度的一半时,加入上悬梁后雷声梁的释放时间约为原来的1/2,即开关速度约为原来的2倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍景富	电子科技大学电子工程学院	51	296	7.0	14.0
2	赵兴海	中国工程物理研究院电子工程研究所	34	240	9.0	14.0
3	杜亦佳	电子科技大学电子工程学院	8	23	2.0	4.0
4	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
5	邓成	电子科技大学电子工程学院	6	27	2.0	5.0
6	凌源	电子科技大学电子工程学院	4	8	2.0	2.0