扫描探针电子能谱仪控制系统的研制

• 作者: 刘文杰 张盼科 徐克尊 徐春凯 耿立威 陈向军
• 来源期刊: 核电子学与探测技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 扫描探针电子能谱仪 控制系统 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 页码范围: 1110-1114,1139
• 分类号: O562
• 字数: 3972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-0934.2011.10.011

摘要

报道了自行搭建的扫描探针电子能谱仪(SPEES)控制系统的硬件及软件实现.该系统包括探针三维扫描控制、谱仪通过能电压扫描控制及样品电流反馈控制,在针尖控制上能够实现x、y、z三个方向上的定位以及恒高模式与恒流模式的扫描,在电子能谱测量上能够实现能量定点模式和能量扫描模式.对石墨表面Ag岛及石墨表面Au纳米结构的SPEES实验验证了该系统可靠性与稳定性.