微弧氧化法生成四方相BaTiO3薄膜工艺研究

• 作者: 李文芳 郭会勇 黄文波
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微弧氧化 BaTiO3 浓度 电流
• 年，卷（期）: 2011,（z3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 507-510
• 分类号: TM22
• 字数: 3494字
• 语种: 中文

摘要

针对微弧氧化法生成四方相BaTiO3薄膜的工艺参数影响规律进行研究.将Ti板置于含Ba2+的电解液中在0.15～0.55mol/L和1.0～5.5A的浓度、电流区域内进行微弧氧化.实验发现微弧只在一定的浓度-电流区域中发生,可用平面图直观表示;在不同的浓度-电流区域内,薄膜具有不同的形貌,据此将浓度-电流区域图进一步划分成不同区域.对不同浓度-电流区域内生成的薄膜形貌进行分析,得到了生成表面形貌均匀、平整薄膜的工艺规律:应在不发生电击穿的情况下尽量选择大电流、在溶解度的范围内选择高的电解液浓度,根据这一规律选择0.5mol/L、3.0A的浓度和电流,40min后生成的薄膜主要由四方相BaTiO3构成,在1kHz下的介电常数为113.0.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文芳	华南理工大学材料科学与工程学院	157	1463	20.0	30.0
2	黄文波	华南理工大学材料科学与工程学院	30	223	10.0	14.0
3	郭会勇	华南理工大学材料科学与工程学院	6	14	3.0	3.0