基于旋转法的干涉仪系统误差标定

• 作者: 吴时彬 张建锋 景洪伟 曹学东 阴旭
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 旋转 干涉仪系统误差 Zemike多项式 绝对标定
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 69-74
• 分类号: TH741|TN247
• 字数: 3048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.12.013

摘要

针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度.该方法根据Zemike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现.本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析.实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ.误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	曹学东	中国科学院光电技术研究所	23	250	9.0	15.0
3	阴旭	中国科学院光电技术研究所	3	28	2.0	3.0
4	景洪伟	中国科学院光电技术研究所	8	53	4.0	7.0
5	张建锋	中国科学院光电技术研究所	4	9	1.0	3.0